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本申请属于真空干燥技术领域，涉及一种真空干燥装置，包括真空干燥腔体、泵体、处理机构、溶剂存储机构以及设置在真空干燥腔体内的载台和溶剂挥发控制机构；泵体与真空干燥腔体连通；载台用于放置待干燥基板；溶剂挥发控制机构与处理机构和溶剂存储机构连接，...
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