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下载研磨盘的技术资料

文档序号:4124763

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一种研磨盘(1),在弹性板(2)的一面侧固定研磨布(3)的背面侧,在上述弹性板(2)的另外一面侧设置用来固定于转动研磨装置的转动轴的固定装置(5),其特征在于:在上述研磨布(3)的与研磨对象物接触的一侧的表面上设置呈格子状的纵槽(7a)及横...
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