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本申请提供一种拼接产品的光罩及在线检测并调控层间对准情况的方法，所述光罩包括：至少两个功能不同但尺寸相同的曝光单元区；其中至少一个所述曝光单元区中设置有用于在线检测层间对准情况的套刻精度标识，且所述套刻精度标识位于所述曝光单元区的芯片区；以...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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