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本发明公开了一种复杂曲面金属微纳结构及其制备方法及装置，所述制备方法包括以下步骤：对零部件基体待加工传感器区域进行表面预处理；进行表面微纳织构化；制备过渡薄膜层；制备绝缘层；制备金属薄膜；对制备金属薄膜后的待加工传感器区域表面的几何形状进行...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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