下载铁电场效应晶体管及其制备方法、存储器件的技术资料

文档序号:41234073

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本申请公开了铁电场效应晶体管及其制备方法、存储器件。铁电场效应晶体管包括:栅极层,铁电层,铁电层位于栅极层的一侧,铁电层包括氧化铪,以及掺杂在氧化铪中的第一掺杂元素,第一掺杂元素包括镧元素;半导体层,半导体层位于铁电层远离栅极层的一侧,半导...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。

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