专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
北京大学
>
铁电场效应晶体管及其制备方法、存储器件技术
>技术资料下载
下载铁电场效应晶体管及其制备方法、存储器件的技术资料
文档序号:41234073
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本申请公开了铁电场效应晶体管及其制备方法、存储器件。铁电场效应晶体管包括:栅极层,铁电层,铁电层位于栅极层的一侧,铁电层包括氧化铪,以及掺杂在氧化铪中的第一掺杂元素,第一掺杂元素包括镧元素;半导体层,半导体层位于铁电层远离栅极层的一侧,半导...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。