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本技术提供了一种进出料机构及硅片处理设备，该进料机构和出料机构上下分层设置，且出料机构移动出料的方向与进料机构移动进料的方向相反，待反应物料从进料端口进入进料机构并向内传送，已反应物料在出料机构上移动至出料端口，使得待反应物料可以吸收已反应...
该专利属于江苏小牛自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏小牛自动化设备有限公司授权不得商用。

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