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本发明的课题在于，提供一种即使在吸附转子的性能下降的情况下，也能够仅装卸性能下降的吸附转子的吸附转子及其吸附转子容纳装置(盒)。本发明最主要的特征在于，提供一种在发生了吸附转子元件的劣化或性能下降等的情况下，在宽度方向上重叠多个吸附转子，使...
该专利属于株式会社西部技研所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社西部技研授权不得商用。

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