下载用于染料敏化太阳能电池的TiO2纳米棒阵列的制法的技术资料

文档序号:4122003

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一种制备用于染料敏化太阳能电池的TiO2纳米棒阵列的方法,利用直流反应磁控溅射方法进行制备,步骤为:将衬底表面放入直流反应磁控溅射装置内,抽真空至小于1×10-3Pa,Ar气为溅射气体,O2气为反应气体,溅射气体和反应气体分别进行控制;反应...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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