下载一种不同工站和工序的光器件参数管理方法及系统的技术资料

文档序号:41219174

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本申请实施例提供一种不同工站和工序的光器件参数管理方法及系统。其中,确定待管理的光器件参数;将光器件的制造过程划分为不同工站和工序,以收集所述待管理的光器件参数在多个样本下的光器件参数数据,所述多个样本包括不同工站和工序下的样本;基于所述多...
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