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本技术公开了一种晶圆盒搬运机器人，其包括：AVG搬运车，其上端面中固定有机箱载体，所述机箱载体的两侧位置对称排列设置有多个载板，所述机箱载体的上方设置有搬运机械臂，所述搬运机器臂的端部安装有夹取搬运机构；所述夹取搬运机构包括：定位架，其上左...
该专利属于捷螺智能设备（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷螺智能设备（苏州）有限公司授权不得商用。

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