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本发明属于表面光学表征领域及微纳米测试技术领域，尤其涉及一种测量二维薄膜材料光学特性的自动聚焦系统及方法。本发明是通过自动聚焦以实现对微米级的样品进行准确测量，并对采集的光强信号建立差分反射模型，拟合得到样品的厚度和复折射率n、k。本发明在...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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