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本发明揭示了一种解耦式微机械陀螺，其衬底上基于锚点支撑的扭摆弹性梁对称设有两片检测电极；该多晶硅结构层成型有两片检测质量块和两片过渡质量块，其中检测质量块对称分接于扭摆弹性梁两侧，悬空且完全覆盖对应侧的检测电极，任一检测质量块的外侧连接一片...
该专利属于苏州感测通信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州感测通信息科技有限公司授权不得商用。

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