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本发明提供了一种用于氮化铝籽晶低温热粘接的方法，将钨衬底置于马弗炉中氧化性气氛中进行氧化处理，使钨衬底表面形成一层氧化钨层；将氮化铝籽晶放置于钨衬底氧化钨层上，在氮化铝籽晶上方放置钨载荷后，置于高温炉的样品托盘上；经氮化铝籽晶的恒温恒压过程...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所授权不得商用。

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