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VCSEL激光器及其制造方法技术
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文档序号:41205687
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公开了一种VCSEL激光器及其制造方法。所述VCSEL激光器的制造方法包括:形成衬底层和至少一单元结构,其中,每一所述单元结构叠置于所述衬底层,每一所述单元结构包括限制层形成层子单元区;其中,所述限制层形成层子单元区包括至少一AlGaAs材...
该专利属于浙江睿熙科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江睿熙科技有限公司授权不得商用。
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