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本发明提供一种图像传感器及其形成方法，包括：提供像素晶圆；前段工艺在衬底中形成有源区，有源区内形成若干像素单元。在衬底的第一表面一侧形成层间介质层，在层间介质层中形成对应深沟槽隔离的开口；以形成开口后的层间介质层为硬掩膜刻蚀部分厚度的衬底，...
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