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本发明提供一种用于制备铌酸锂纳米结构的方法，其包括以下步骤：(1)在带有衬底的铌酸锂层上形成光刻胶层，然后对所述光刻胶层进行曝光、显影和定影以形成具有期望图形结构的光刻胶层；(2)在步骤(1)获得的结构上形成掩膜层；(3)对步骤(2)获得的...
该专利属于中国科学院物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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