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本公开提供了利用包括相机模块和照明模块的视觉系统来检查基板的基板检查装置及包括基板检查装置的基板处理系统。基板处理系统包括：第一基板处理装置；第二基板处理装置；传送单元，从第一基板处理装置向第二基板处理装置运送其中容纳有多个基板的容器；以及...
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