下载电极植入机构和具有其的电极植入设备的技术资料

文档序号:41201250

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本发明公开了一种电极植入机构和具有其的电极植入设备,所述电极植入机构包括:壳体;真空轴组件,所述真空轴组件安装于所述壳体,所述真空轴组件沿其轴线可移动,所述真空轴组件内构造有与真空源相连的第一真空通道和第二真空通道,所述第一真空通道具有第一...
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