下载一种用于光机系统初始装调的组合测量方法的技术资料

文档序号:41199926

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本发明公开一种用于光机系统初始装调的组合测量方法,涉及光机系统装调技术领域,组合测量方法应用组合测量系统;组合测量系统包括:激光跟踪仪、三个经纬仪和PSM装调显微镜;组合测量方法包括:根据机械定位将目标模块放置到理论位置处;通过激光跟踪仪建...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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