下载一种三维堆叠存储器及其制造方法的技术资料

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本发明涉及一种三维堆叠存储器及其制造方法。所述三维堆叠存储器包括多个存储器子模块,所述多个存储器子模块通过模块间连接结构电连接,所述存储器子模块包括:第一重布线层、第一垂直互连结构、第一存储芯片模块、第一塑封层、第二重布线层、第二垂直互连结...
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