下载一种光通信器件的真空热压装置的技术资料

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一种光通信器件的真空热压装置,包括真空腔体、真空热压装置;真空热压装置包括加工运动模组、加工底座、热压机构;加工运动模组包括Y轴、Z轴,Y轴上设置有步进电机,Z轴上设置有电动夹,在电动夹之间放置有样品夹具;加工底座上设置有连接柱与压力传感器...
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