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为克服现有的有机金属化学气相沉积中氨在高温下对生产装置及所制备器件的损坏，本实用新型提供一种有机金属化学气相沉积装置，其包括一控制系统、一气体混合系统、一传送室、一反应室及一尾气处理系统，气体混合系统、传送室、尾气处理系统分别与反应室连通，...
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