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本发明公开了一种基于独立成分分析和贝叶斯推理的半导体过程监测方法，该方法首先根据对半导体过程的混合数据进行工况划分，对每一个工况数据分别进行独立成分分析，建立相应的独立成分分析模型。然后，通过贝叶斯推理方法对不同工况下的监测信息进行集成和综...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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