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本技术提供一种晶圆位置检测装置，包括底座、竖向安装架、水平支架、相机、吸盘组件、环形光源和图像处理装置。吸盘组件包括圆形主吸盘和3个硅胶吸盘，圆形主吸盘上设有多个吸气孔，在自由状态下，硅胶吸盘的开口上边缘高度比圆形主吸盘的上表面高度高0.2...
该专利属于苏州埃缇益自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州埃缇益自动化科技有限公司授权不得商用。

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