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本申请公开了真空镀膜设备。真空镀膜设备包括工艺腔体、第一进气管路、第二进气管路和排气管路；第一进气管路与工艺腔体连通；第二进气管路与工艺腔体连通；排气管路与工艺腔体连通；其中，第一进气管路包括第一气流管路和第一加热管路，第一气流管路与第一加...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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