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本技术提供了一种机械手臂，通过在分离的多个机械臂和与每个机械臂对应的爪钩之间设置压力感应装置；并设置所述爪钩通过所述压力感应装置与所述机械臂相连接；在所述机械臂控制爪钩抓取晶圆时，当所述压力感应装置检测到的信号变化满足设定条件时，机械臂继续...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

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