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一种单晶向、柱状大晶粒的铸造多晶硅的制备方法技术
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下载一种单晶向、柱状大晶粒的铸造多晶硅的制备方法的技术资料
文档序号:4116070
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本发明公开了一种同晶向、柱状大晶粒的铸造多晶硅的制备方法,包括:(1)依次将单晶硅块、硅原料、掺杂元素置于坩埚中;(2)加热使单晶硅块上的硅原料和掺杂元素融化,而每个单晶硅块不被全部融化;(3)热交换从坩埚底部开始,使单晶硅块作为籽晶诱导生...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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