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本发明公开了一种热屏蔽装置，由带有中心开口的固定环和绕置在所述中心开口边缘的柔性保温材料构成。本发明热屏蔽装置可以提高在拉晶炉内生长硅晶体时的可靠性和安全性，并降低原先技术中热屏蔽装置的制作成本。...
该专利属于浙江碧晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江碧晶科技有限公司授权不得商用。

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