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一种MEMS光纤悬臂式称重传感器及称重模块制造技术
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下载一种MEMS光纤悬臂式称重传感器及称重模块的技术资料
文档序号:41158643
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本发明涉及一种MEMS光纤悬臂式称重传感器及称重模块,属于称重测量技术领域。所述MEMS光纤悬臂式称重传感器用于测量被测物体的重量或施力,具有悬臂梁,所述悬臂梁的内部具有容纳腔,所述悬臂梁的一端处于固定位置,另一端处于加载位置,被测物体被放...
该专利属于上海拜安传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海拜安传感技术有限公司授权不得商用。
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