下载表面处理装置以及表面处理方法的技术资料

文档序号:41154579

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及表面处理装置以及表面处理方法。表面处理装置(10)具备:收纳至少一个被处理材(W)的腔室(20)(收纳单元);被处理材载放部(32a、32b)(载放机构),将被处理材(W)载放为,与沿着水平方向延伸的旋转轴(31a、31b)的外周...
该专利属于芝浦机械株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过芝浦机械株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。