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半导体器件1A包括半绝缘漂移层20A、金刚石基晶体管30和氮化物基晶体管50。半绝缘漂移层20A设置在金刚石衬底10A上方。金刚石基晶体管30包括位于半绝缘漂移层20A的第一部分的上表面上方的漏极和源极303、304。第一部分的上表面TS1...
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