温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种晶舟组件及用于薄膜沉积的炉管装置，包括多个支撑柱，各支撑柱包括设置于其内侧且沿长度方向间隔排布的多个支撑臂，多个支撑柱同一高度位置附近的支撑臂共同承载晶圆，以将多个晶圆保持于相互平行的状态；其中，所述支撑臂在所述支撑柱两端的排...
该专利属于芯恩（青岛）集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯恩（青岛）集成电路有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。