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本发明公开了一种碳化硅晶锭剥离系统，属于晶锭剥离技术领域，包括检测及激光加工系统和剥离系统，所述检测及激光加工系统包括检测模块、加工模块和设置在所述检测模块与所述加工模块之间的第一机械手，所述剥离系统包括处理模块、剥离模块和设置在所述处理模...
该专利属于长沙理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长沙理工大学授权不得商用。

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