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本发明提供一种光干涉式微集成三轴加速度传感结构及其解算方法，包括自下向上依次布置的三轴加速度同步敏感结构、阵列光栅结构和光电检测阵列结构；三轴加速度同步敏感结构包括固定框架、特异敏感弹性梁、台阶式质量块和反光膜。具有以下优点：(1)该设计以...
该专利属于北方工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北方工业大学授权不得商用。

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