下载一种降低矫顽电场的铁电电容器及制备方法的技术资料

文档序号:41145131

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本发明公开了一种降低矫顽电场的铁电电容器及制备方法,包括自上而下设置的衬底、底电极、插入层、铁电层以及顶电极;所述电容结构为金属‑铁电‑介电‑金属双层结构;所述底电极和铁电层中间插入一层插入层;所述插入层为TiO<subgt;2<...
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