下载一种用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:41143818

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本发明属于半导体器件技术领域,提供一种用于光学瞄准镜的多色切换发光芯片及其制备方法,所述发光芯片包括外延片;外延片自下而上依次包括衬底、底层外延层、有源层和顶层外延层;外延片的表面设置有刻蚀区和若干个同心布置的发射不同颜色光的一级发光区,刻...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

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