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一种可同时抽上下腔压力的结构制造技术
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下载一种可同时抽上下腔压力的结构的技术资料
文档序号:41143009
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本技术涉及气体透过率测试技术领域,尤其涉及一种可同时抽上下腔压力的结构。其技术方案包括:所述真空泵与试样室通过导管连通,所述试样室上通过导管连接有陶瓷薄膜规,所述试样室通过导管与气压控制器连通,所述气压控制器通过第一减压阀、第二减压阀和速度...
该专利属于济南众测机电设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过济南众测机电设备有限公司授权不得商用。
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