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本发明公开了一种形成耐腐蚀涂层的装置及形成耐腐蚀涂层的方法。该装置包含：反应室；第一加热器，设置在反应室内，零部件本体设置在第一加热器的加热面，零部件本体包括待处理面；气体输送入口，用于向反应室内输送稀土前驱体、气体分散剂和源前驱体；气体出...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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