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本发明提供一种双模式谐振压力传感器，使得同一个MEMS敏感芯片仅通过简单的工作方式的切换即可实现中低真空至大气压力的全量程压力测量。在大于低真空压力段通过多个(2个及以上)单体谐振器或一个单体谐振器搭配热敏部件构成的谐振式压力传感器实现测量...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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