下载镀膜装置的技术资料

文档序号:41136310

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本技术涉及一种镀膜装置。一种镀膜装置,用于为待镀膜件镀膜,包括:真空室;至少一个转盘,至少一个转盘位于真空室内,转盘内具有用于容纳待镀膜件的盘腔,盘腔内设置有扰动棒,扰动棒与盘腔的底壁之间具有间隙;以及传动机构,传动机构位于真空室内,传动机...
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