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本发明属于碳碳复合材料技术领域，具体涉及一种碳碳复合材料制品及其制备方法。本发明通过气相沉积增密、树脂浸渍‑碳化增密和纯化工艺制备得到高密度、高透气性的碳碳复合材料制品，所述制品可以为透气环，该碳碳复合材料的透气环更符合半导体产业的使用要求...
该专利属于上海康碳复合材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海康碳复合材料科技有限公司授权不得商用。

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