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电子器件和形成电子器件的方法技术
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文档序号:41134568
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本文说明了一种电子器件,该电子器件包括:非导电固态衬底;多个电极;至少一个高k值介电膜,其中该介电膜被形成为自支撑膜;以及至少一个半导体沟道层;其中所述介电膜和所述半导体沟道层在所述介电膜与所述半导体沟道层之间形成一个范德华界面。还说明了相...
该专利属于新南创新有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新南创新有限公司授权不得商用。
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