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本发明是加工装置100，其自动更换用以保持加工对象物的保持用板，且将密封完毕基板W保持于加工用工作台2A、加工用工作台2B上，使加工用工作台2A、加工用工作台2B移动的同时，通过加工机构4对密封完毕基板W进行加工，所述加工装置100包括：板...
该专利属于东和株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东和株式会社授权不得商用。

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