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一种波导集成的黑磷/石墨烯异质结光电探测器及其应用制造技术
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下载一种波导集成的黑磷/石墨烯异质结光电探测器及其应用的技术资料
文档序号:41134310
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本发明的一种波导集成的黑磷/石墨烯异质结光电探测器及其应用,衬底为覆盖二氧化硅的硅衬底,其上设有硅脊型波导、硅脊型波导的表面覆盖二氧化硅层,二氧化硅层上设有氮化硼层,氮化硼层上设有石墨烯层和黑磷层,黑磷层部分层叠在石墨烯层的上表面;第二金属...
该专利属于国科大杭州高等研究院所有,仅供学习研究参考,未经过国科大杭州高等研究院授权不得商用。
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