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本发明公开了一种基于微悬臂梁的光纤超声传感器、制备方法及系统，涉及光学传感技术领域，包括单模光纤，单模光纤与多模光纤熔接，多模光纤的另一端面蚀刻有凹型微腔，多模光纤的另一端面还熔接有柚子型光子晶体光纤薄膜。激光经单模光纤传至多模光纤，激光至...
该专利属于西北大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北大学授权不得商用。

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