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本发明提供了一种压电微机械超声换能器结构及其制备方法，涉及半导体器件技术领域，该压电微机械超声换能器结构中的压电材料层包括至少一层AlScN层。通过在传统的AlN层中掺杂Sc元素形成AlScN层作为新型的压电材料层，用Sc元素替代AlN层中...
该专利属于首都医科大学附属北京天坛医院所有，仅供学习研究参考，未经过首都医科大学附属北京天坛医院授权不得商用。

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