下载Micro-LED的晶圆键合结构及键合方法的技术资料

文档序号:41124492

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本发明公开的Micro‑LED的晶圆键合结构及键合方法,包括通过共晶叠层金属组键合的第一晶圆和第二晶圆,共晶叠层金属组由多组薄层共晶金属对交替堆叠而成。本发明的Micro‑LED的晶圆键合结构及键合方法,通过将两种共晶层金属分为多组薄层交替...
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