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本发明公开了三自由度柔性精密定位工作台，本工作台结构中采用六个压电陶瓷驱动器，每个驱动器尾部通过螺栓与基座相连，顶端通过螺纹连接球形接头，实现赫兹接触。定位工作台的柔性机构主要包括基座、六个结构完全一致的柔性支链及其支撑的动平台三部分。三个...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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