下载光波导及其制备方法的技术资料

文档序号:41114384

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本发明公开了一种光波导及其制备方法,制备方法包括:制备第一光波导主体结构,第一光波导主体结构包括相对设置的第一表面及第二表面,第一表面为平面,第二表面上设置有第一锯齿结构,第一锯齿结构上设置有分光膜;在第一光波导主体结构的第二表面上一体形成...
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