下载覆盖可见光和红外光的探测器芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:41112856

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种覆盖可见光和红外光的探测器芯片的制备方法,包括:在晶圆的第一区域形成CMOS图像传感器的多个可见光像素单元和电路层;在晶圆的第一区域的上方形成多个红外光探测像素单元,多个红外光探测像素单元与CMOS图像传感器的电路层电连接;以及在晶圆的...
该专利属于联合微电子中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。